Semikonduktor:
Industri semikonduktor mengikut undang-undang perindustrian "satu generasi teknologi, satu generasi proses, dan satu generasi peralatan", dan peningkatan dan lelaran peralatan semikonduktor bergantung sebahagian besarnya pada penemuan teknologi bahagian ketepatan. Antaranya, bahagian seramik ketepatan adalah bahan bahagian ketepatan semikonduktor yang paling mewakili, yang mempunyai aplikasi penting dalam satu siri pautan pembuatan semikonduktor utama seperti pemendapan wap kimia, pemendapan wap fizikal, implantasi ion, dan etsa. Seperti galas, rel panduan, pelapik, chuck elektrostatik, lengan pengendalian mekanikal, dan lain-lain. Terutamanya di dalam rongga peralatan, ia memainkan peranan sokongan, perlindungan, dan lencongan.
Sejak 2023, Belanda dan Jepun juga telah berturut-turut mengeluarkan peraturan baharu atau dekri perdagangan asing mengenai kawalan, menambahkan peraturan lesen eksport untuk peralatan semikonduktor termasuk mesin litografi, dan trend anti-globalisasi semikonduktor telah muncul secara beransur-ansur. Kepentingan kawalan bebas terhadap rantaian bekalan telah menjadi semakin menonjol. Berhadapan dengan permintaan untuk penyetempatan bahagian peralatan semikonduktor, syarikat domestik sedang giat mempromosikan pembangunan perindustrian. Zhongci Electronics telah merealisasikan penyetempatan bahagian ketepatan berteknologi tinggi seperti plat pemanas dan chuck elektrostatik, menyelesaikan masalah "bottleneck" industri peralatan semikonduktor domestik; Dezhi New Materials, pembekal domestik terkemuka asas grafit bersalut SiC dan cincin etsa SiC, telah berjaya menyelesaikan pembiayaan sebanyak 100 juta yuan, dsb…..
Substrat seramik silikon nitrida berkekonduksian tinggi:
Substrat seramik silikon nitrida digunakan terutamanya dalam unit kuasa, peranti semikonduktor dan penyongsang kenderaan elektrik tulen (EV) dan kenderaan elektrik hibrid (HEV), dan mempunyai potensi pasaran yang besar dan prospek aplikasi.
Pada masa ini, bahan substrat seramik silikon nitrida terma yang tinggi untuk aplikasi komersial memerlukan kekonduksian terma ≥85 W/(m·K), kekuatan lenturan ≥650MPa, dan keliatan patah 5~7MPa·m1/2. Syarikat-syarikat yang benar-benar mempunyai keupayaan untuk menghasilkan substrat seramik silikon nitrida kekonduksian terma tinggi secara besar-besaran adalah terutamanya Kumpulan Toshiba, Hitachi Metals, Japan Electric Chemical, Japan Maruwa dan Japan Fine Ceramics.
Penyelidikan domestik mengenai bahan substrat seramik silikon nitrida juga telah mencapai beberapa kemajuan. Kekonduksian terma substrat seramik silikon nitrida yang disediakan melalui proses tuangan pita Cawangan Beijing Sinoma High-Tech Nitride Ceramics Co., Ltd. ialah 100 W/(m·K); Beijing Sinoma Artificial Crystal Research Institute Co., Ltd. telah berjaya menyediakan substrat seramik silikon nitrida dengan kekuatan lentur 700-800MPa, keliatan patah ≥8MPa·m1/2, dan kekonduksian terma ≥80W/(m·K) dengan mengoptimumkan kaedah dan proses pensinteran.
Masa siaran: 29-Okt-2024