Bahagian hadapan barisan pengeluaran adalah seperti meletakkan asas dan membina dinding rumah. Dalam pembuatan semikonduktor, peringkat ini melibatkan penciptaan struktur asas dan transistor pada wafer silikon.
Langkah Utama FEOL:
1. Pembersihan:Mulakan dengan wafer silikon nipis dan bersihkan untuk membuang sebarang kekotoran.
2. Pengoksidaan:Tumbuhkan lapisan silikon dioksida pada wafer untuk mengasingkan bahagian cip yang berlainan.
3. Fotolitografi:Gunakan fotolitografi untuk menggores corak pada wafer, sama seperti melukis cetak biru dengan cahaya.
4. Goresan:Goreskan silikon dioksida yang tidak diingini untuk mendedahkan corak yang diingini.
5. Doping:Masukkan bendasing ke dalam silikon untuk mengubah sifat elektriknya, mencipta transistor, blok binaan asas mana-mana cip.
![Goresan](http://www.semi-cera.com/uploads/Etching.jpg)
Garis Akhir Pertengahan (MEOL): Menyambung Titik
Bahagian tengah barisan pengeluaran adalah seperti memasang pendawaian dan paip di rumah. Peringkat ini memberi tumpuan kepada mewujudkan sambungan antara transistor yang dicipta dalam peringkat FEOL.
Langkah Utama MEOL:
1. Pemendapan Dielektrik:Lapisan penebat deposit (dipanggil dielektrik) untuk melindungi transistor.
2. Pembentukan Hubungan:Bentuk kenalan untuk menyambungkan transistor antara satu sama lain dan dunia luar.
3. Saling bersambung:Tambahkan lapisan logam untuk mencipta laluan bagi isyarat elektrik, sama seperti pendawaian rumah untuk memastikan kuasa dan aliran data yang lancar.
Garis Hujung Belakang (BEOL): Sentuhan Penamat
-
Bahagian belakang barisan pengeluaran adalah seperti menambahkan sentuhan terakhir pada rumah—memasang lekapan, mengecat dan memastikan semuanya berfungsi. Dalam pembuatan semikonduktor, peringkat ini melibatkan penambahan lapisan akhir dan penyediaan cip untuk pembungkusan.
Langkah Utama BEOL:
1. Lapisan Logam Tambahan:Tambahkan berbilang lapisan logam untuk meningkatkan kesalinghubungan, memastikan cip boleh mengendalikan tugas yang rumit dan kelajuan tinggi.
2. Pasif:Sapukan lapisan pelindung untuk melindungi cip daripada kerosakan alam sekitar.
3. Ujian:Tundukkan cip kepada ujian yang ketat untuk memastikan ia memenuhi semua spesifikasi.
4. Memotong dadu:Potong wafer menjadi cip individu, setiap satunya sedia untuk dibungkus dan digunakan dalam peranti elektronik.
Masa siaran: Jul-08-2024