Bagaimana untuk mengukur rintangan kepingan filem nipis?

Filem nipis yang digunakan dalam pembuatan semikonduktor semuanya mempunyai rintangan, dan rintangan filem mempunyai kesan langsung ke atas prestasi peranti. Kami biasanya tidak mengukur rintangan mutlak filem, tetapi menggunakan rintangan helaian untuk mencirikannya.

Apakah rintangan kepingan dan rintangan isipadu?

Kerintangan isipadu, juga dikenali sebagai kerintangan isipadu, adalah sifat sedia ada bahan yang mencirikan berapa banyak bahan menghalang aliran arus elektrik. Simbol yang biasa digunakan ρ mewakili, unitnya ialah Ω.

Rintangan helaian, juga dikenali sebagai rintangan helaian, nama Inggeris ialah rintangan helaian, yang merujuk kepada nilai rintangan filem per unit luas. Simbol yang biasa digunakan Rs atau ρs untuk menyatakan, unitnya ialah Ω/sq atau Ω/□

Hubungan antara keduanya ialah: rintangan kepingan = kerintangan isipadu/ketebalan filem, iaitu Rs =ρ/t

Mengapa mengukur rintangan helaian?

Mengukur rintangan mutlak filem memerlukan pengetahuan yang tepat tentang dimensi geometri filem (panjang, lebar, ketebalan), yang mempunyai banyak pembolehubah dan sangat kompleks untuk filem yang sangat nipis atau berbentuk tidak sekata. Rintangan kepingan hanya berkaitan dengan ketebalan filem dan boleh diuji dengan cepat dan terus tanpa pengiraan saiz yang rumit.

Filem manakah yang perlu mengukur rintangan kepingan?

Secara amnya, filem konduktif dan filem semikonduktor perlu diukur untuk rintangan segi empat sama, manakala filem penebat tidak perlu diukur.
Dalam doping semikonduktor, rintangan kepingan silikon juga diukur.

Bagaimana untuk mengukur rintangan persegi?

Kaedah empat kuar biasanya digunakan dalam industri. Kaedah empat kuar boleh mengukur rintangan segi empat sama antara 1E-3 hingga 1E+9Ω/sq. Kaedah empat kuar boleh mengelakkan ralat pengukuran akibat rintangan sentuhan antara kuar dan sampel.

Kaedah pengukuran:
1) Tetapkan empat probe tersusun secara linear pada permukaan sampel.
2) Sapukan arus malar di antara dua probe luar.
3) Tentukan rintangan dengan mengukur beza keupayaan antara dua kuar dalaman

RS : rintangan helaian
ΔV: Perubahan voltan yang diukur antara probe dalaman
I : Arus dikenakan antara probe luar