Proses goresan kering biasanya terdiri daripada empat keadaan asas: sebelum goresan, goresan separa, goresan sahaja, dan goresan berlebihan. Ciri-ciri utama ialah kadar etsa, selektiviti, dimensi kritikal, keseragaman, dan pengesanan titik akhir. Gambar rajah 1 Sebelum goresan Rajah 2 Rajah goresan separa...
Baca lagi