Pengenalan pembawa wafer
KATEGORI PRODUK
▶Sistem Pembawa Wafer untuk Proses PECVD & TALOX
• Bot Grafit PECVD & TALOX (M4~M12)
• SM-Boat Menegak (M4, M6)
• Implan & mandian Bahagian Grafit (M4~M6)
• Dulang C/C & Salutan Seramik
• Logam RIE-Tray & Salutan Seramik
• Pengedap Vakum : O-Ring & SQ-Ring
▶Proses Pemindahan Tekstur & Goresan Basah
• LSC H-Carrier atau kaset (M4~M12)
• Pembawa V LSC atau kaset (M4~M12)
• Pembawa ASC atau kaset (M4, M6)
• Pembawa W/F & Kotak Penyimpanan (M4~M12)
• Siri Roda Pengangkutan (Roller).
▶Pembawa Sel Suria & Pembawa Logam
• Pembawa TRC atau kaset (M4~M12)
• Majalah (dengan BELT)
BOT GRAFIT (Jenis-H)
19P6-216CT (WF M4~M12)
BOT GRAFIT (Jenis-H)
21P6-240CT WF M4~M12)
BOT GRAFIT (Jenis-H)
23P7-308CT(W/F M4~M12)
BOT GRAFIT (Jenis-H)
22P/7-294TP (W/F M4~M12)
BOT GRAFIT (Jenis-H)
W182-22P7-294CT (W/F M12)
W182-21P6-240CT (W/F M12)
PEMBAWA WF & KOTAK Storan (~M12)
DULANG C/C atau PEMBAWA (M4~M10)
DULANG C/C atau PEMBAWA (M4~M10)
BOT MENEGAK (SM) M6
LSC-H-CARRIER(~M12)
LSC-V-CARRIER(~M12)
PEMBAWA ASC (~M6)
PEMBAWA TRC(~M12)
PEMBAWA TRC(~M12)
GRAFIT-BOAT(M12)
Sistem Pembawa Wafer untuk Proses PECVD
▶ GRAFIT BOAT (CT-Designed) Proses M10/M12
• KONSEP REKA BENTUK KHAS
▶ Proses M4/M6 GRAFIT (Reka Bentuk CT).
▶ Bahagian Aksesori BOT
▶ BOT MENEGAK-161.7mm WAFER
▶ BOT MENEGAK-166mm WAFER
▶ BOT MENEGAK-161.7mm, WAFER 166mm
Pembawa Sel Suria & Pembawa TRC Logam
JENIS : Automasi
SAIZ WAFER : ① 156×156MM ② 156.75×156.75MM
③161.7x161.7MM ④166x166MM
⑤ 180×180mm ⑥ 210×210mm
PENGGUNAAN : Bawa (Kaset)
KAPASITI : 100 helai
PITCH : 4.76MM/5.953mm/6.35mm
DIMENSI : Lebih kurang 559×220×220MM
Lebih kurang 712×260×260MM
KELEBIHAN : Suasana
BAHAN : FLAME, SIDE BAR-Aluminium (anodizing)
PLAT SISI-POM (Antistatik)
Penutup bar bawah-EPDM/PU/VITON (ASE)
TRC-METAL CARRIER (TALIAN U'SER)
TRC-METAL CARRIER (TALIAN U'SER)
TRC-METAL CARRIER (TALIAN U'SER)
SHOWER PLATE & IMPLANT, PEMBAWA
