Pembawa/Susceptor SiC ketulenan tinggi

Penerangan ringkas:

Cakera galas silikon karbida juga dikenali sebagai dulang SIC, cakera etsa karbida silikon, cakera etsa ICP. Dulang silikon karbida untuk goresan LED (dulang SiC) φ600mm ialah aksesori khas untuk goresan silikon dalam (mesin goresan ICP).

Hantar e-mel kepada kami

Butiran Produk

Tag Produk

Penerangan

Seramik silikon karbida mempunyai sifat mekanikal yang sangat baik pada suhu bilik, seperti kekuatan tinggi, kekerasan tinggi, modulus anjal yang tinggi, dan lain-lain, ia juga mempunyai kestabilan suhu tinggi yang sangat baik seperti kekonduksian terma yang tinggi, pekali pengembangan haba yang rendah, dan kekakuan spesifik dan optik yang baik. prestasi pemprosesan.
Ia amat sesuai untuk menghasilkan bahagian seramik ketepatan untuk peralatan litar bersepadu seperti mesin litografi, terutamanya digunakan untuk mengeluarkan pembawa/susceptor SiC, bot wafer SiC, cakera penyedut, plat penyejuk air, reflektor pengukur ketepatan, parut dan bahagian struktur seramik lain.

pembawa2

pembawa3

pembawa4

Kelebihan

Rintangan suhu tinggi: penggunaan biasa pada 1800 ℃
Kekonduksian haba yang tinggi: bersamaan dengan bahan grafit
Kekerasan tinggi: kekerasan kedua selepas berlian, boron nitrida
Rintangan kakisan: asid kuat dan alkali tidak mempunyai kakisan kepadanya, rintangan kakisan lebih baik daripada tungsten karbida dan alumina
Berat ringan: ketumpatan rendah, dekat dengan aluminium
Tiada ubah bentuk: pekali pengembangan haba yang rendah
Rintangan kejutan terma: ia boleh menahan perubahan suhu yang tajam, menahan kejutan haba, dan mempunyai prestasi yang stabil
Pembawa karbida silikon seperti pembawa etsa sic, susceptor etsa ICP, digunakan secara meluas dalam CVD semikonduktor, vakum sputtering dan lain-lain. Kami boleh menyediakan pelanggan dengan pembawa wafer tersuai bahan silikon dan silikon karbida untuk memenuhi aplikasi yang berbeza.

Kelebihan

Harta benda	Nilai	Kaedah
Ketumpatan	3.21 g/cc	Sink-terapung dan dimensi
Haba tertentu	0.66 J/g °K	Denyar laser berdenyut
Kekuatan lentur	450 MPa560 MPa	Selekoh 4 mata, selekoh titik RT4, 1300°
Keliatan patah	2.94 MPa m1/2	Microindentation
Kekerasan	2800	Vicker's, muatan 500g
Modulus Elastik Modulus Muda	450 GPa430 GPa	Selekoh 4 pt, selekoh RT4 pt, 1300 °C
Saiz bijirin	2 – 10 µm	SEM

Profil Syarikat

WeiTai Energy Technology Co., Ltd. ialah pembekal terkemuka bagi seramik semikonduktor termaju dan satu-satunya pengeluar di China yang boleh menyediakan seramik karbida silikon ketulenan tinggi secara serentak (terutamanya SiC Terhablur Semula) dan salutan SiC CVD. Di samping itu, syarikat kami juga komited dalam bidang seramik seperti alumina, aluminium nitrida, zirkonia, dan silikon nitrida, dll.

Produk utama kami termasuk: cakera etsa silikon karbida, tunda bot silikon karbida, bot wafer silikon karbida (Photovoltaic&Semikonduktor), tiub relau silikon karbida, dayung julur silikon karbida, chuck silikon karbida, rasuk silikon karbida, serta salutan SiC CVD dan TaC salutan. Produk yang digunakan terutamanya dalam industri semikonduktor dan fotovoltaik, seperti peralatan untuk pertumbuhan kristal, epitaksi, etsa, pembungkusan, salutan dan relau resapan, dan lain-lain.
kira-kira (2)