Bot grafit PECVD isostatik SEMICERA ialah produk grafit berketumpatan tinggi ketulenan tinggi yang direka untuk sokongan wafer dalam proses PECVD (pemendapan wap kimia dipertingkatkan plasma). SEMICERA menggunakan teknologi penekan isostatik termaju untuk memastikan bot grafit mempunyai rintangan suhu tinggi yang sangat baik, rintangan kakisan, kestabilan dimensi dan kekonduksian terma yang baik, yang merupakan bahan habis pakai yang sangat diperlukan dalam proses pembuatan semikonduktor.
Bot grafit PECVD isostatik SEMICERA mempunyai kelebihan berikut:
▪ Ketulenan tinggi: Bahan grafit mempunyai ketulenan tinggi dan kandungan kekotoran rendah untuk mengelakkan pencemaran permukaan wafer.
▪ Ketumpatan tinggi: Ketumpatan tinggi, kekuatan mekanikal yang tinggi, boleh menahan suhu tinggi dan persekitaran vakum yang tinggi.
▪ Kestabilan dimensi yang baik: Perubahan dimensi kecil pada suhu tinggi untuk memastikan kestabilan proses.
▪ Kekonduksian terma yang sangat baik: Memindahkan haba dengan berkesan untuk mengelakkan wafer terlalu panas.
▪ Rintangan kakisan yang kuat: Mampu menahan hakisan oleh pelbagai gas dan plasma menghakis.
| Parameter prestasi | semicera | SGL R6510 | Parameter prestasi |
| Ketumpatan pukal (g/cm3) | 1.91 | 1.83 | 1.85 |
| Kekuatan lentur (MPa) | 63 | 60 | 49 |
| Kekuatan mampatan (MPa) | 135 | 130 | 103 |
| Kekerasan Pantai (HS) | 70 | 64 | 60 |
| Pekali pengembangan terma（10-6/K） | 85 | 105 | 130 |
| Pekali pengembangan terma（10-6/K） | 5.85 | 4.2 | 5.0 |
| Kerintangan (μΩm) | 11-13 | 13 | 10 |
Kelebihan memilih kami:
▪ Pemilihan bahan: Bahan grafit ketulenan tinggi digunakan untuk memastikan kualiti produk.
▪ Teknologi pemprosesan: Penekanan isostatik digunakan untuk memastikan ketumpatan dan keseragaman produk.
▪ Penyesuaian saiz: Bot grafit dengan saiz dan bentuk yang berbeza boleh disesuaikan mengikut keperluan pelanggan.
▪ Rawatan permukaan: Pelbagai kaedah rawatan permukaan disediakan, seperti salutan silikon karbida, boron nitrida, dsb., untuk memenuhi keperluan proses yang berbeza.
