RTPCincin CVD SiCdigunakan secara meluas dalam bidang perindustrian dan saintifik dalam persekitaran suhu tinggi dan menghakis. Ia memainkan peranan penting dalam pembuatan semikonduktor, optoelektronik, mesin ketepatan dan industri kimia. Aplikasi khusus termasuk:
1. Pembuatan semikonduktor:Cincin RTP CVD SiCboleh digunakan untuk pemanasan dan penyejukan peralatan semikonduktor, menyediakan kawalan suhu yang stabil dan memastikan ketepatan dan ketekalan proses.
2. Optoelektronik: Oleh kerana kekonduksian haba yang sangat baik dan rintangan suhu tinggi, RTPCincin CVD SiCboleh digunakan sebagai bahan sokongan dan pelesapan haba untuk laser, peralatan komunikasi gentian optik dan komponen optik.
3. Jentera ketepatan: Cincin RTP CVD SiC boleh digunakan untuk instrumen dan peralatan ketepatan dalam persekitaran suhu tinggi dan menghakis, seperti relau suhu tinggi, peranti vakum dan reaktor kimia.
4. Industri kimia: Disebabkan oleh rintangan kakisan dan kestabilan kimianya, cincin RTP CVD SiC boleh digunakan dalam bekas, paip dan reaktor dalam tindak balas kimia dan proses pemangkin.
Sistem Epi
Sistem RTP
Sistem CVD
Prestasi produk:
1. Memenuhi proses di bawah 28nm
2. rintangan kakisan super
3. Prestasi super bersih
4. Kekerasan super
5. Ketumpatan tinggi
6. Rintangan suhu tinggi
7. rintangan memakai
Aplikasi produk:
Bahan silikon karbida mempunyai ciri kekerasan tinggi, rintangan haus, rintangan kakisan dan kestabilan suhu tinggi. Produk dengan prestasi komprehensif yang cemerlang digunakan secara meluas dalam proses goresan kering dan TF/Difusi.
Prestasi produk:
1. Memenuhi proses di bawah 28nm
2. rintangan kakisan super
3. Prestasi super bersih
4. Kekerasan super
5. Ketumpatan tinggi
6. Rintangan suhu tinggi
7. rintangan memakai
Pembangunan proses komposit:
• Salutan Grafit +SiC
• Pepejal CVD SiC
• SiC+CVD tersinter
• SicSintered SiC
Pembangunan pelbagai jenis produk:
• Cincin
• Jadual
• Susceptor
• Kepala Pancuran