SemiceramemperkenalkanKaset Semikonduktor, alat penting untuk pengendalian wafer yang selamat dan cekap sepanjang proses pembuatan semikonduktor. Dicipta dengan ketepatan tinggi, kaset ini memastikan wafer anda disimpan dan diangkut dengan selamat, mengekalkan integritinya pada setiap peringkat.
Perlindungan dan Ketahanan UnggulTheKaset Semikonduktordari Semicera dibina untuk menawarkan perlindungan maksimum kepada wafer anda. Dibina daripada bahan yang teguh dan tahan pencemaran, ia melindungi wafer anda daripada kemungkinan kerosakan dan pencemaran, menjadikannya pilihan ideal untuk persekitaran bilik bersih. Reka bentuk kaset meminimumkan penjanaan zarah dan memastikan wafer kekal tidak disentuh dan selamat semasa pengendalian dan pengangkutan.
Reka Bentuk Dipertingkat untuk Prestasi OptimumSemicera'sKaset Semikonduktormenampilkan reka bentuk yang direka dengan teliti yang menyediakan penjajaran wafer yang tepat, mengurangkan risiko salah jajaran dan kerosakan mekanikal. Slot kaset dijarakkan dengan sempurna untuk memegang setiap wafer dengan selamat, menghalang sebarang pergerakan yang boleh mengakibatkan calar atau ketidaksempurnaan lain.
Serbaguna dan KeserasianTheKaset Semikonduktoradalah serba boleh dan serasi dengan pelbagai saiz wafer, menjadikannya sesuai untuk pelbagai peringkat fabrikasi semikonduktor. Sama ada anda menggunakan dimensi wafer standard atau tersuai, kaset ini menyesuaikan diri dengan keperluan anda, menawarkan fleksibiliti dalam proses pembuatan anda.
Pengendalian dan Kecekapan DiperkemasDireka dengan mengambil kira pengguna, theKaset Semikonduktor Semiceraringan dan mudah dikendalikan, membolehkan pemuatan dan pemunggahan yang cepat dan cekap. Reka bentuk ergonomik ini bukan sahaja menjimatkan masa tetapi juga mengurangkan risiko kesilapan manusia, memastikan operasi lancar dalam kemudahan anda.
Memenuhi Piawaian IndustriSemicera memastikan bahawaKaset Semikonduktormemenuhi piawaian industri tertinggi untuk kualiti dan kebolehpercayaan. Setiap kaset menjalani ujian yang ketat untuk menjamin bahawa ia berfungsi secara konsisten di bawah keadaan menuntut pembuatan semikonduktor. Dedikasi terhadap kualiti ini memastikan wafer anda sentiasa dilindungi, mengekalkan piawaian tinggi yang diperlukan dalam industri.
| barang | Pengeluaran | Penyelidikan | Dummy |
| Parameter Kristal | |||
| Politaip | 4H | ||
| Ralat orientasi permukaan | <11-20 >4±0.15° | ||
| Parameter Elektrik | |||
| Dopan | Nitrogen jenis-n | ||
| Kerintangan | 0.015-0.025ohm·cm | ||
| Parameter Mekanikal | |||
| Diameter | 150.0±0.2mm | ||
| Ketebalan | 350±25 μm | ||
| Orientasi rata utama | [1-100]±5° | ||
| Panjang rata utama | 47.5±1.5mm | ||
| Flat sekunder | tiada | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
| Tunduk | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| meledingkan | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Kekasaran hadapan(Si-muka) (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Struktur | |||
| Ketumpatan mikropaip | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Kekotoran logam | ≤5E10atom/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Kualiti Depan | |||
| Depan | Si | ||
| Kemasan permukaan | CMP muka Si | ||
| Zarah | ≤60ea/wafer (saiz≥0.3μm) | NA | |
| calar | ≤5ea/mm. Panjang kumulatif ≤Diameter | Panjang kumulatif≤2*Diameter | NA |
| Kulit oren/lubang/noda/jalur/rekahan/pencemaran | tiada | NA | |
| Serpihan tepi/lekukan/pecahan/plat hex | tiada | ||
| Kawasan politaip | tiada | Luas terkumpul≤20% | Luas terkumpul≤30% |
| Penandaan laser hadapan | tiada | ||
| Kualiti Belakang | |||
| Kemasan belakang | C-muka CMP | ||
| calar | ≤5ea/mm, Panjang kumulatif≤2*Diameter | NA | |
| Kecacatan belakang (cip tepi/inden) | tiada | ||
| Kekasaran belakang | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Penandaan laser belakang | 1 mm (dari tepi atas) | ||
| Tepi | |||
| Tepi | Chamfer | ||
| Pembungkusan | |||
| Pembungkusan | Epi-sedia dengan pembungkusan vakum Pembungkusan kaset berbilang wafer | ||
| *Nota： "NA" bermaksud tiada permintaan Item yang tidak disebut boleh merujuk kepada SEMI-STD. | |||
