Penerangan
Pemanas Substrat MOCVD, Elemen Pemanas Untuk MOCVD
Pemanas grafit:
Komponen pemanas grafit digunakan dalam relau suhu tinggi dengan suhu mencapai 2200 darjah pada persekitaran vakum dan 3000 darjah dalam persekitaran gas ternyahoksida dan dimasukkan.
Ciri utama pemanas grafit
1. keseragaman struktur pemanasan.
2. kekonduksian elektrik yang baik dan beban elektrik yang tinggi.
3. rintangan kakisan.
4. kebolehoksidaan.
5. ketulenan kimia yang tinggi.
6. kekuatan mekanikal yang tinggi.
Kelebihannya ialah cekap tenaga, nilai tinggi dan penyelenggaraan yang rendah.
Kami boleh menghasilkan bekas grafit anti-pengoksidaan dan jangka hayat yang panjang, acuan grafit dan semua bahagian pemanas grafit.
Grafit kimia
Kelebihan: Rintangan suhu tinggi
Permohonan:MOCVD/Relau Vakum/Zon Panas
Ketumpatan Pukal:1.68-1.91g/cm3
Kekuatan lentur: 30-46Mpa
Kerintangan: 7-12μΩm
Parameter utama pemanas grafit
| Spesifikasi Teknikal | VET-M3 |
| Ketumpatan Pukal (g/cm3) | ≥1.85 |
| Kandungan Abu (PPM) | ≤500 |
| Kekerasan Pantai | ≥45 |
| Rintangan Khusus (μ.Ω.m) | ≤12 |
| Kekuatan lentur (Mpa) | ≥40 |
| Kekuatan Mampatan (Mpa) | ≥70 |
| Maks. Saiz Bijirin (μm) | ≤43 |
| Pekali Pengembangan Terma Mm/°C | ≤4.4*10-6 |
Pemanas grafit untuk relau elektrik mempunyai sifat rintangan haba, rintangan pengoksidaan, kekonduksian elektrik yang baik dan keamatan mekanikal yang lebih baik. Kami boleh mesin pelbagai jenis pemanas grafit mengikut reka bentuk pelanggan.
Profil Syarikat
WeiTai Energy Technology Co., Ltd. ialah pembekal terkemuka bagi seramik semikonduktor termaju dan satu-satunya pengeluar di China yang boleh menyediakan seramik karbida silikon ketulenan tinggi secara serentak (terutamanya SiC Terhablur Semula) dan salutan SiC CVD. Di samping itu, syarikat kami juga komited dalam bidang seramik seperti alumina, aluminium nitrida, zirkonia, dan silikon nitrida, dll.
Produk utama kami termasuk: cakera etsa silikon karbida, tunda bot silikon karbida, bot wafer silikon karbida (Photovoltaic&Semikonduktor), tiub relau silikon karbida, dayung julur silikon karbida, chuck silikon karbida, rasuk silikon karbida, serta salutan SiC CVD dan TaC salutan. Produk yang digunakan terutamanya dalam industri semikonduktor dan fotovoltaik, seperti peralatan untuk pertumbuhan kristal, epitaksi, etsa, pembungkusan, salutan dan relau resapan, dan lain-lain.
Syarikat kami mempunyai peralatan pengeluaran yang lengkap seperti pengacuan, pensinteran, pemprosesan, peralatan salutan, dsb., yang boleh melengkapkan semua pautan pengeluaran produk yang diperlukan dan mempunyai kebolehkawalan kualiti produk yang lebih tinggi; Pelan pengeluaran yang optimum boleh dipilih mengikut keperluan produk, menghasilkan kos yang lebih rendah dan menyediakan pelanggan dengan produk yang lebih kompetitif; Kami boleh menjadualkan pengeluaran secara fleksibel dan cekap berdasarkan keperluan penghantaran pesanan dan bersama-sama dengan sistem pengurusan pesanan dalam talian, memberikan pelanggan masa penghantaran yang lebih cepat dan lebih terjamin.
