SemiceraSalutan Seramik Silikon Karbidaialah salutan pelindung berprestasi tinggi yang diperbuat daripada bahan silikon karbida (SiC) yang sangat keras dan tahan haus. Salutan biasanya dimendapkan pada permukaan substrat oleh proses CVD atau PVD denganzarah silikon karbida, memberikan rintangan kakisan kimia yang sangat baik dan kestabilan suhu tinggi. Oleh itu, Salutan Seramik Silicon Carbide digunakan secara meluas dalam komponen utama peralatan pembuatan semikonduktor.
Dalam pembuatan semikonduktor,Salutan SiCboleh menahan suhu yang sangat tinggi sehingga 1600°C, jadi Salutan Seramik Silikon Karbida sering digunakan sebagai lapisan pelindung untuk peralatan atau alatan untuk mengelakkan kerosakan dalam persekitaran suhu tinggi atau menghakis.
Pada masa yang sama,salutan seramik silikon karbidaboleh menahan hakisan asid, alkali, oksida dan reagen kimia lain, dan mempunyai rintangan kakisan yang tinggi kepada pelbagai bahan kimia. Oleh itu, produk ini sesuai untuk pelbagai persekitaran menghakis dalam industri semikonduktor.
Selain itu, berbanding dengan bahan seramik lain, SiC mempunyai kekonduksian terma yang lebih tinggi dan boleh mengalirkan haba dengan berkesan. Ciri ini menentukan bahawa dalam proses semikonduktor yang memerlukan kawalan suhu yang tepat, kekonduksian terma yang tinggi bagiSalutan Seramik Silikon Karbidamembantu menyebarkan haba secara sama rata, mengelakkan kepanasan setempat, dan memastikan peranti beroperasi pada suhu optimum.
| Sifat fizikal asas salutan sic CVD | |
| Harta benda | Nilai Biasa |
| Struktur Kristal | Polihablur fasa FCC β, terutamanya berorientasikan (111). |
| Ketumpatan | 3.21 g/cm³ |
| Kekerasan | Kekerasan 2500 Vickers（500g beban） |
| Saiz Bijirin | 2~10μm |
| Ketulenan Kimia | 99.99995% |
| Kapasiti Haba | 640 J·kg-1·K-1 |
| Suhu Sublimasi | 2700 ℃ |
| Kekuatan lentur | 415 MPa RT 4 mata |
| Modulus Muda | 430 Gpa selekoh 4pt, 1300℃ |
| Kekonduksian Terma | 300W·m-1·K-1 |
| Pengembangan Terma(CTE) | 4.5×10-6K-1 |
