Gambaran Keseluruhan Produk
ThePengayuh Silikon Karbida (SiC) Diresapi Silikon dan Pembawa Waferdireka bentuk untuk memenuhi keperluan menuntut aplikasi pemprosesan haba semikonduktor. Dihasilkan daripada SiC ketulenan tinggi dan dipertingkatkan melalui impregnasi silikon, produk ini menawarkan gabungan unik prestasi suhu tinggi, kekonduksian terma yang sangat baik, rintangan kakisan dan kekuatan mekanikal yang luar biasa.
Dengan menyepadukan sains bahan termaju dengan pembuatan ketepatan, penyelesaian ini memastikan prestasi unggul, kebolehpercayaan dan ketahanan untuk pengeluar semikonduktor.
Ciri-ciri Utama
1.Rintangan Suhu Tinggi yang Luar Biasa
Dengan takat lebur melebihi 2700°C, bahan SiC sememangnya stabil di bawah haba melampau. Impregnasi silikon meningkatkan lagi kestabilan haba mereka, membolehkan mereka menahan pendedahan berpanjangan kepada suhu tinggi tanpa kelemahan struktur atau kemerosotan prestasi.
2.Kekonduksian Terma Unggul
Kekonduksian terma yang luar biasa bagi SiC yang diresapi silikon memastikan pengagihan haba yang seragam, mengurangkan tekanan haba semasa peringkat pemprosesan kritikal. Harta ini memanjangkan jangka hayat peralatan dan meminimumkan masa henti pengeluaran, menjadikannya ideal untuk pemprosesan terma suhu tinggi.
3.Pengoksidaan dan Rintangan Kakisan
Lapisan silikon oksida yang teguh terbentuk secara semula jadi di permukaan, memberikan ketahanan yang luar biasa terhadap pengoksidaan dan kakisan. Ini memastikan kebolehpercayaan jangka panjang dalam persekitaran operasi yang keras, melindungi kedua-dua bahan dan komponen sekitarnya.
4.Kekuatan Mekanikal yang Tinggi dan Rintangan Haus
SiC yang diresapi silikon mempunyai kekuatan mampatan yang sangat baik dan rintangan haus, mengekalkan integriti strukturnya dalam keadaan beban tinggi dan suhu tinggi. Ini mengurangkan risiko kerosakan berkaitan haus, memastikan prestasi yang konsisten sepanjang kitaran penggunaan yang dilanjutkan.
Spesifikasi
| Nama Produk | SC-RSiC-Si |
| bahan | Impregnasi Silikon Silicon Carbide Compact (ketulenan tinggi) |
| Aplikasi | Bahagian Rawatan Haba Semikonduktor, Bahagian Peralatan Pembuatan Semikonduktor |
| Borang penghantaran | Badan acuan (Badan tersinter) |
| Komposisi | Harta Mekanikal | Modulus Muda (GPa) | Kekuatan Lentur (MPa) | ||
| Komposisi (vol%) | α-SiC | α-SiC | RT | 370 | 250 |
| 82 | 18 | 800°C | 360 | 220 | |
| Ketumpatan Pukal (kg/m³) | 3.02 x 103 | 1200°C | 340 | 220 | |
| Suhu Kalis Haba°C | 1350 | Nisbah Poisson | 0.18(RT) | ||
| Harta Terma | Kekonduksian Terma (W/(m· K)) | Kapasiti Haba Tertentu (kJ/(kg·K)) | Pekali Pengembangan Terma (1/K) | ||
| RT | 220 | 0.7 | RT~700°C | 3.4 x 10-6 | |
| 700°C | 60 | 1.23 | 700~1200°C | 4.3 x10-6 | |
| Kandungan Kekotoran ((ppm) | |||||||||||||
| unsur | Fe | Ni | Na | K | Mg | Ca | Cr | Mn | Zn | Cu | Ti | Va | Ai |
| Kadar Kandungan | 3 | <2 | <0.5 | <0.1 | <1 | 5 | 0.3 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.3 | <0.3 | 25 |
Aplikasi
▪Pemprosesan Terma Semikonduktor:Sesuai untuk proses seperti pemendapan wap kimia (CVD), pertumbuhan epitaxial dan penyepuhlindapan, di mana kawalan suhu yang tepat dan ketahanan bahan adalah kritikal.
▪Pembawa Wafer & Kayuh:Direka bentuk untuk memegang dan mengangkut wafer dengan selamat semasa rawatan terma suhu tinggi.
▪Persekitaran Operasi Melampau: Sesuai untuk tetapan yang memerlukan ketahanan terhadap haba, pendedahan kimia dan tekanan mekanikal.
Kelebihan Silicon-Impregnated SiC
Gabungan silikon karbida ketulenan tinggi dan teknologi impregnasi silikon termaju memberikan faedah prestasi yang tiada tandingan:
▪Ketepatan:Meningkatkan ketepatan dan kawalan pemprosesan semikonduktor.
▪Kestabilan:Menahan persekitaran yang keras tanpa menjejaskan fungsi.
▪Panjang umur:Memanjangkan hayat perkhidmatan peralatan pembuatan semikonduktor.
▪Kecekapan:Meningkatkan produktiviti dengan memastikan hasil yang boleh dipercayai dan konsisten.
Mengapa Memilih Penyelesaian SiC Diresapi Silikon Kami?
At Semicera, kami pakar dalam menyediakan penyelesaian berprestasi tinggi yang disesuaikan dengan keperluan pengeluar semikonduktor. Pengayuh Silicon Carbide dan Pembawa Wafer Kami yang Diresapi Silikon menjalani ujian yang ketat dan jaminan kualiti untuk memenuhi piawaian industri. Dengan memilih Semicera, anda mendapat akses kepada bahan termaju yang direka untuk mengoptimumkan proses pembuatan anda dan meningkatkan keupayaan pengeluaran anda.
Spesifikasi Teknikal
▪Komposisi Bahan:Karbida silikon ketulenan tinggi dengan impregnasi silikon.
▪Julat Suhu Operasi:Sehingga 2700°C.
▪ Kekonduksian Terma:Sangat tinggi untuk pengagihan haba yang seragam.
▪Sifat Rintangan:Pengoksidaan, kakisan, dan tahan haus.
▪Aplikasi:Serasi dengan pelbagai sistem pemprosesan haba semikonduktor.
Hubungi Kami
Bersedia untuk meningkatkan proses pembuatan semikonduktor anda? KenalanSemicerahari ini untuk mengetahui lebih lanjut tentang Pengayuh Silicon Carbide dan Pembawa Wafer Silicon-Impregnated Silicon Carbide kami.
▪e-mel: sales01@semi-cera.com/sales05@semi-cera.com
▪telefon: +86-0574-8650 3783
▪lokasi:No.1958 Jiangnan Road, Ningbo berteknologi tinggi, Zon, Wilayah Zhejiang, 315201, China
