Cincin panduan grafit bersalut TaCmerujuk kepada pemendapan lapisan nipistantalum karbidapada permukaan cincin panduan grafit untuk meningkatkan rintangan haus, rintangan suhu tinggi dan kestabilan kimia. Salutan ini biasanya terbentuk pada permukaan cincin panduan grafit dengan teknik seperti pemendapan wap fizikal (PVD) atau pemendapan wap kimia (CVD).
Semicera menyediakan salutan tantalum karbida (TaC) khusus untuk pelbagai komponen dan pembawa.Proses salutan terkemuka Semicera membolehkan salutan tantalum karbida (TaC) mencapai ketulenan tinggi, kestabilan suhu tinggi dan toleransi kimia yang tinggi, meningkatkan kualiti produk kristal SIC/GAN dan lapisan EPI (Susceptor TaC bersalut grafit), dan memanjangkan hayat komponen reaktor utama. Penggunaan salutan TaC tantalum karbida adalah untuk menyelesaikan masalah kelebihan dan meningkatkan kualiti pertumbuhan kristal, dan Semicera telah memecahkan teknologi salutan tantalum karbida (CVD), mencapai tahap lanjutan antarabangsa.
Selepas bertahun-tahun pembangunan, Semicera telah menakluki teknologiCVD TaCdengan usaha bersama jabatan R&D. Kecacatan mudah berlaku dalam proses pertumbuhan wafer SiC, tetapi selepas digunakanTaC, perbezaannya adalah ketara. Di bawah ialah perbandingan wafer dengan dan tanpa TaC, serta bahagian Simicera' untuk pertumbuhan kristal tunggal.
Ciri-ciri utama cincin panduan grafit bersalut TaC termasuk:
1. Rintangan suhu tinggi: Salutan TaC mempunyai kestabilan suhu tinggi yang sangat baik dan boleh mengekalkan kestabilan dalam persekitaran suhu tinggi.
2. Rintangan haus: Kekerasan tinggi lapisan nipis tantalum karbida memberikan cincin panduan rintangan haus yang baik dan memanjangkan hayat perkhidmatannya.
3. Kestabilan kimia: Salutan TaC mempunyai kestabilan yang tinggi terhadap kakisan kimia, menjadikannya sesuai untuk aplikasi dalam beberapa media menghakis.
4. Kurangkan geseran: Salutan TaC boleh mengurangkan geseran antara cincin panduan grafit dan komponen lain dengan berkesan dan meningkatkan kecekapan pengedap mekanikal.
dengan dan tanpa TaC
Selepas menggunakan TaC (kanan)
Lebih-lebih lagi, Semicera'sProduk bersalut TaCmempamerkan hayat perkhidmatan yang lebih lama dan rintangan suhu tinggi yang lebih besar berbanding dengansalutan SiC.Pengukuran makmal telah menunjukkan bahawa kamisalutan TaCboleh berprestasi secara konsisten pada suhu sehingga 2300 darjah Celsius untuk tempoh yang lama. Berikut adalah beberapa contoh sampel kami:
