Salutan TaCialah salutan bahan penting, yang biasanya disediakan pada asas grafit oleh teknologi pemendapan wap kimia organik logam (MOCVD). Salutan ini mempunyai sifat yang sangat baik, seperti kekerasan tinggi, rintangan haus yang sangat baik, rintangan suhu tinggi dan kestabilan kimia, dan sesuai untuk pelbagai aplikasi kejuruteraan permintaan tinggi.
Teknologi MOCVD ialah teknologi pertumbuhan filem nipis yang biasa digunakan yang mendepositkan filem kompaun yang dikehendaki pada permukaan substrat dengan bertindak balas prekursor organik logam dengan gas reaktif pada suhu tinggi. Ketika bersiapSalutan TaC, memilih prekursor organik logam yang sesuai dan sumber karbon, mengawal keadaan tindak balas dan parameter pemendapan, filem TaC yang seragam dan padat boleh dimendapkan pada asas grafit.
Semicera menyediakan salutan tantalum karbida (TaC) khusus untuk pelbagai komponen dan pembawa.Proses salutan terkemuka Semicera membolehkan salutan tantalum karbida (TaC) mencapai ketulenan tinggi, kestabilan suhu tinggi dan toleransi kimia yang tinggi, meningkatkan kualiti produk kristal SIC/GAN dan lapisan EPI (Susceptor TaC bersalut grafit), dan memanjangkan hayat komponen reaktor utama. Penggunaan salutan TaC tantalum karbida adalah untuk menyelesaikan masalah kelebihan dan meningkatkan kualiti pertumbuhan kristal, dan Semicera telah memecahkan teknologi salutan tantalum karbida (CVD), mencapai tahap lanjutan antarabangsa.
Selepas bertahun-tahun pembangunan, Semicera telah menakluki teknologiCVD TaCdengan usaha bersama jabatan R&D. Kecacatan mudah berlaku dalam proses pertumbuhan wafer SiC, tetapi selepas digunakanTaC, perbezaannya adalah ketara. Di bawah ialah perbandingan wafer dengan dan tanpa TaC, serta bahagian Simicera' untuk pertumbuhan kristal tunggal.
dengan dan tanpa TaC
Selepas menggunakan TaC (kanan)
Lebih-lebih lagi, Semicera'sProduk bersalut TaCmempamerkan hayat perkhidmatan yang lebih lama dan rintangan suhu tinggi yang lebih besar berbanding dengansalutan SiC.Pengukuran makmal telah menunjukkan bahawa kamisalutan TaCboleh berprestasi secara konsisten pada suhu sehingga 2300 darjah Celsius untuk tempoh yang lama. Berikut adalah beberapa contoh sampel kami:
