Pemprosesan MEMS - Ikatan: Aplikasi dan Prestasi dalam Industri Semikonduktor, Perkhidmatan Tersuai Semicera
Dalam industri mikroelektronik dan semikonduktor, teknologi MEMS (sistem mikro-elektromekanikal) telah menjadi salah satu teknologi teras yang memacu inovasi dan peralatan berprestasi tinggi. Dengan kemajuan sains dan teknologi, teknologi MEMS telah digunakan secara meluas dalam penderia, penggerak, peranti optik, peralatan perubatan, elektronik automotif dan bidang lain, dan secara beransur-ansur telah menjadi bahagian yang sangat diperlukan dalam teknologi moden. Dalam bidang ini, proses ikatan (Bonding), sebagai langkah utama dalam pemprosesan MEMS, memainkan peranan penting dalam prestasi dan kebolehpercayaan peranti.
Ikatan ialah teknologi yang menggabungkan dua atau lebih bahan secara kukuh dengan cara fizikal atau kimia. Biasanya, lapisan bahan yang berbeza perlu disambungkan dengan ikatan dalam peranti MEMS untuk mencapai integriti struktur dan realisasi fungsi. Dalam proses pembuatan peranti MEMS, ikatan bukan sahaja proses sambungan, tetapi juga secara langsung mempengaruhi kestabilan terma, kekuatan mekanikal, prestasi elektrik dan aspek lain peranti.
Dalam pemprosesan MEMS berketepatan tinggi, teknologi ikatan perlu memastikan ikatan rapat antara bahan sambil mengelakkan sebarang kecacatan yang menjejaskan prestasi peranti. Oleh itu, kawalan tepat proses ikatan dan bahan ikatan berkualiti tinggi adalah faktor utama untuk memastikan produk akhir memenuhi piawaian industri.
Aplikasi ikatan MEMS dalam industri semikonduktor
Dalam industri semikonduktor, teknologi MEMS digunakan secara meluas dalam pengeluaran peranti mikro seperti penderia, pecutan, penderia tekanan, dan giroskop. Dengan peningkatan permintaan untuk produk kecil, bersepadu dan pintar, ketepatan dan keperluan prestasi peranti MEMS juga meningkat. Dalam aplikasi ini, teknologi ikatan digunakan untuk menyambungkan bahan yang berbeza seperti wafer silikon, kaca, logam dan polimer untuk mencapai fungsi yang cekap dan stabil.
1. Penderia tekanan dan pecutan
Dalam bidang kereta, aeroangkasa, elektronik pengguna, dsb., penderia tekanan dan pecutan MEMS digunakan secara meluas dalam sistem pengukuran dan kawalan. Proses ikatan digunakan untuk menyambungkan cip silikon dan elemen sensor untuk memastikan kepekaan dan ketepatan yang tinggi. Penderia ini mesti dapat menahan keadaan persekitaran yang melampau, dan proses ikatan berkualiti tinggi boleh menghalang bahan daripada tertanggal atau tidak berfungsi dengan berkesan akibat perubahan suhu.
2. Peranti mikro-optik dan suis optik MEMS
Dalam bidang komunikasi optik dan peranti laser, peranti optik MEMS dan suis optik memainkan peranan penting. Teknologi ikatan digunakan untuk mencapai sambungan tepat antara peranti MEMS berasaskan silikon dan bahan seperti gentian optik dan cermin untuk memastikan kecekapan dan kestabilan penghantaran isyarat optik. Terutamanya dalam aplikasi dengan frekuensi tinggi, lebar jalur lebar dan penghantaran jarak jauh, teknologi ikatan berprestasi tinggi adalah penting.
3. giroskop MEMS dan penderia inersia
Giroskop MEMS dan penderia inersia digunakan secara meluas untuk navigasi dan kedudukan yang tepat dalam industri mewah seperti pemanduan autonomi, robotik dan aeroangkasa. Proses ikatan berketepatan tinggi boleh memastikan kebolehpercayaan peranti dan mengelakkan kemerosotan prestasi atau kegagalan semasa operasi jangka panjang atau operasi frekuensi tinggi.
Keperluan prestasi utama teknologi ikatan dalam pemprosesan MEMS
Dalam pemprosesan MEMS, kualiti proses ikatan secara langsung menentukan prestasi, hayat dan kestabilan peranti. Untuk memastikan peranti MEMS boleh berfungsi dengan pasti untuk masa yang lama dalam pelbagai senario aplikasi, teknologi ikatan mesti mempunyai prestasi utama berikut:
1. Kestabilan haba yang tinggi
Banyak persekitaran aplikasi dalam industri semikonduktor mempunyai keadaan suhu tinggi, terutamanya dalam bidang kereta, aeroangkasa, dll. Kestabilan haba bahan ikatan adalah penting dan boleh menahan perubahan suhu tanpa degradasi atau kegagalan.
2. rintangan haus yang tinggi
Peranti MEMS biasanya melibatkan struktur mikro-mekanikal, dan geseran dan pergerakan jangka panjang boleh menyebabkan haus bahagian sambungan. Bahan ikatan perlu mempunyai rintangan haus yang sangat baik untuk memastikan kestabilan dan kecekapan peranti dalam penggunaan jangka panjang.
3. Ketulenan yang tinggi
Industri semikonduktor mempunyai keperluan yang sangat ketat terhadap ketulenan bahan. Mana-mana bahan cemar kecil boleh menyebabkan kegagalan peranti atau kemerosotan prestasi. Oleh itu, bahan yang digunakan dalam proses ikatan mestilah mempunyai ketulenan yang sangat tinggi untuk memastikan peranti tidak terjejas oleh pencemaran luaran semasa operasi.
4. Ketepatan ikatan yang tepat
Peranti MEMS selalunya memerlukan ketepatan pemprosesan peringkat mikron atau bahkan nanometer. Proses ikatan mesti memastikan dok yang tepat bagi setiap lapisan bahan untuk memastikan fungsi dan prestasi peranti tidak terjejas.
Ikatan anodik
Ikatan anodik:
● Berkenaan dengan ikatan antara wafer silikon dan kaca, logam dan kaca, semikonduktor dan aloi serta semikonduktor dan kaca
Ikatan eutektoid:
● Berkenaan dengan bahan seperti PbSn, AuSn, CuSn dan AuSi
Ikatan gam:
● Gunakan gam ikatan khas, sesuai untuk gam ikatan khas seperti AZ4620 dan SU8
● Berkenaan dengan 4 inci dan 6 inci
Perkhidmatan Ikatan Tersuai Semicera
Sebagai pembekal peneraju industri bagi penyelesaian pemprosesan MEMS, Semicera komited untuk menyediakan pelanggan dengan perkhidmatan ikatan tersuai ketepatan tinggi dan kestabilan tinggi. Teknologi ikatan kami boleh digunakan secara meluas dalam penyambungan bahan yang berbeza, termasuk silikon, kaca, logam, seramik, dsb., menyediakan penyelesaian inovatif untuk aplikasi mewah dalam bidang semikonduktor dan MEMS.
Semicera mempunyai peralatan pengeluaran termaju dan pasukan teknikal, dan boleh menyediakan penyelesaian ikatan tersuai mengikut keperluan khusus pelanggan. Sama ada sambungan yang boleh dipercayai di bawah persekitaran suhu tinggi dan tekanan tinggi, atau ikatan peranti mikro yang tepat, Semicera boleh memenuhi pelbagai keperluan proses yang kompleks untuk memastikan setiap produk dapat memenuhi piawaian kualiti tertinggi.
Perkhidmatan ikatan tersuai kami tidak terhad kepada proses ikatan konvensional, tetapi juga termasuk ikatan logam, ikatan mampatan haba, ikatan pelekat dan proses lain, yang boleh memberikan sokongan teknikal profesional untuk bahan, struktur dan keperluan aplikasi yang berbeza. Selain itu, Semicera juga boleh menyediakan pelanggan dengan perkhidmatan penuh daripada pembangunan prototaip kepada pengeluaran besar-besaran untuk memastikan setiap keperluan teknikal pelanggan dapat direalisasikan dengan tepat.
