Semicera'sKaset Waferialah komponen kritikal dalam proses pembuatan semikonduktor, direka untuk memegang dan mengangkut wafer semikonduktor halus dengan selamat. TheKaset Wafermemberikan perlindungan yang luar biasa, memastikan setiap wafer dipastikan bebas daripada bahan cemar dan kerosakan fizikal semasa pengendalian, penyimpanan dan pengangkutan.
Dibina dengan ketulenan tinggi, bahan tahan kimia, SemiceraKaset Wafermenjamin tahap kebersihan dan ketahanan tertinggi, penting untuk mengekalkan integriti wafer pada setiap peringkat pengeluaran. Kejuruteraan ketepatan kaset ini membolehkan penyepaduan yang lancar dengan sistem pengendalian automatik, meminimumkan risiko pencemaran dan kerosakan mekanikal.
Reka bentukKaset Waferjuga menyokong aliran udara dan kawalan suhu yang optimum, yang penting untuk proses yang memerlukan keadaan persekitaran tertentu. Sama ada digunakan dalam bilik bersih atau semasa pemprosesan haba, SemiceraKaset Waferdireka bentuk untuk memenuhi permintaan ketat industri semikonduktor, memberikan prestasi yang boleh dipercayai dan konsisten untuk meningkatkan kecekapan pembuatan dan kualiti produk.
| barang | Pengeluaran | Penyelidikan | Dummy |
| Parameter Kristal | |||
| Politaip | 4H | ||
| Ralat orientasi permukaan | <11-20 >4±0.15° | ||
| Parameter Elektrik | |||
| Dopan | Nitrogen jenis-n | ||
| Kerintangan | 0.015-0.025ohm·cm | ||
| Parameter Mekanikal | |||
| Diameter | 150.0±0.2mm | ||
| Ketebalan | 350±25 μm | ||
| Orientasi rata utama | [1-100]±5° | ||
| Panjang rata utama | 47.5±1.5mm | ||
| Flat sekunder | tiada | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
| Tunduk | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| meledingkan | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Kekasaran hadapan(Si-muka) (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Struktur | |||
| Ketumpatan mikropaip | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Kekotoran logam | ≤5E10atom/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Kualiti Depan | |||
| Depan | Si | ||
| Kemasan permukaan | CMP muka Si | ||
| Zarah | ≤60ea/wafer (saiz≥0.3μm) | NA | |
| calar | ≤5ea/mm. Panjang kumulatif ≤Diameter | Panjang kumulatif≤2*Diameter | NA |
| Kulit oren/lubang/noda/jalur/rekahan/pencemaran | tiada | NA | |
| Serpihan tepi/lekukan/pecahan/plat hex | tiada | ||
| Kawasan politaip | tiada | Luas terkumpul≤20% | Luas terkumpul≤30% |
| Penandaan laser hadapan | tiada | ||
| Kualiti Belakang | |||
| Kemasan belakang | C-muka CMP | ||
| calar | ≤5ea/mm, Panjang kumulatif≤2*Diameter | NA | |
| Kecacatan belakang (cip tepi/inden) | tiada | ||
| Kekasaran belakang | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Penandaan laser belakang | 1 mm (dari tepi atas) | ||
| Tepi | |||
| Tepi | Chamfer | ||
| Pembungkusan | |||
| Pembungkusan | Epi-sedia dengan pembungkusan vakum Pembungkusan kaset berbilang wafer | ||
| *Nota： "NA" bermaksud tiada permintaan Item yang tidak disebut boleh merujuk kepada SEMI-STD. | |||
