Wafer SOI

Penerangan ringkas:

Wafer SOI ialah struktur seperti sandwic dengan tiga lapisan; Termasuk lapisan atas (lapisan peranti), bahagian tengah lapisan oksigen yang tertimbus (untuk lapisan SiO2 penebat) dan substrat bawah (silikon pukal). Wafer SOI dihasilkan menggunakan kaedah SIMOX dan teknologi ikatan wafer, yang membolehkan lapisan peranti yang lebih nipis dan lebih tepat, ketebalan seragam dan ketumpatan kecacatan yang rendah.


Butiran Produk

Tag Produk

Wafer SOI(1)

Medan permohonan

1. Litar bersepadu berkelajuan tinggi

2. Peranti gelombang mikro

3. Litar bersepadu suhu tinggi

4. Peranti kuasa

5. Litar bersepadu kuasa rendah

6. MEMS

7. Litar bersepadu voltan rendah

item

Hujah

Keseluruhannya

Diameter Wafer
晶圆尺寸(mm)

50/75/100/125/150/200mm±25um

Bow/Warp
翘曲度(

<10um

Zarah
颗粒度(

0.3um<30ea

Rumah Pangsa/Notch
定位边/定位槽

Rata atau Takik

Pengecualian Edge
边缘去除(mm)

/

Lapisan Peranti
器件层

Jenis Lapisan Peranti/Dopan
器件层掺杂类型

N-Type/P-Type
B/ P/ Sb / As

Orientasi lapisan peranti
器件层晶向

<1-0-0> / <1-1-1> / <1-1-0>

Ketebalan lapisan peranti
器件层厚度(um)

0.1~300um

Kerintangan lapisan peranti
器件层电阻率(ohm•cm)

0.001~100,000 ohm-cm

Zarah lapisan peranti
器件层颗粒度(

<30ea@0.3

TTV Lapisan Peranti
器件层TTV(

<10um

Selesai Lapisan Peranti
器件层表面处理

Digilap

KOTAK

Ketebalan Terma Oksida Terkubur
埋氧层厚度(um)

50nm(500Å)~15um

Lapisan Pemegang
衬底

Mengendalikan Jenis Wafer/Dopan
衬底层类型

N-Type/P-Type
B/ P/ Sb / As

Mengendalikan Orientasi Wafer
衬底晶向

<1-0-0> / <1-1-1> / <1-1-0>

Mengendalikan Kerintangan Wafer
衬底电阻率(ohm•cm)

0.001~100,000 ohm-cm

Mengendalikan Ketebalan Wafer
衬底厚度(um)

>100um

Mengendalikan Kemasan Wafer
衬底表面处理

Digilap

Wafer SOI bagi spesifikasi sasaran boleh disesuaikan mengikut keperluan pelanggan.

Tempat kerja Semicera Tempat kerja Semicera 2

Mesin peralatanPemprosesan CNN, pembersihan kimia, salutan CVD

Perkhidmatan kami


  • Sebelumnya:
  • Seterusnya: