Epitaksi LED biru/hijau daripada semicera menawarkan penyelesaian termaju untuk pembuatan LED berprestasi tinggi. Direka bentuk untuk menyokong proses pertumbuhan epitaxial termaju, teknologi epitaksi LED Biru/hijau semicera meningkatkan kecekapan dan ketepatan dalam menghasilkan LED biru dan hijau, kritikal untuk pelbagai aplikasi optoelektronik. Menggunakan Si Epitaxy dan SiC Epitaxy yang terkini, penyelesaian ini memastikan kualiti dan ketahanan yang sangat baik.
Dalam proses pembuatan, MOCVD Susceptor memainkan peranan penting, bersama-sama dengan komponen seperti PSS Etching Carrier, ICP Etching Carrier, dan RTP Carrier, yang mengoptimumkan persekitaran pertumbuhan epitaxial. Epitaksi LED Biru/hijau Semicera direka untuk memberikan sokongan yang stabil untuk Susceptor Epitaxial LED, Susceptor Barrel dan Silikon Monocrystalline, memastikan penghasilan hasil yang konsisten dan berkualiti tinggi.
Proses epitaksi ini penting untuk mencipta Bahagian Fotovoltaik dan menyokong aplikasi seperti GaN pada SiC Epitaxy, meningkatkan kecekapan semikonduktor keseluruhan. Sama ada dalam konfigurasi Pancake Susceptor atau digunakan dalam persediaan lanjutan lain, penyelesaian epitaksi LED Biru/hijau semicera menawarkan prestasi yang boleh dipercayai, membantu pengeluar memenuhi permintaan yang semakin meningkat untuk komponen LED berkualiti tinggi.
Ciri-ciri utama:
1. Rintangan pengoksidaan suhu tinggi:
rintangan pengoksidaan masih sangat baik apabila suhu setinggi 1600 C.
2. Ketulenan tinggi: dibuat oleh pemendapan wap kimia di bawah keadaan pengklorinan suhu tinggi.
3. Rintangan hakisan: kekerasan tinggi, permukaan padat, zarah halus.
4. Rintangan kakisan: asid, alkali, garam dan reagen organik.
Spesifikasi Utama bagiSalutan CVD-SIC
Sifat SiC-CVD | ||
Struktur Kristal | Fasa FCC β | |
Ketumpatan | g/cm ³ | 3.21 |
Kekerasan | Kekerasan Vickers | 2500 |
Saiz Bijirin | μm | 2~10 |
Ketulenan Kimia | % | 99.99995 |
Kapasiti Haba | J·kg-1 ·K-1 | 640 |
Suhu Sublimasi | ℃ | 2700 |
Kekuatan Feleksural | MPa (RT 4 mata) | 415 |
Modulus Muda | Gpa (4pt selekoh, 1300℃) | 430 |
Pengembangan Terma (CTE) | 10-6K-1 | 4.5 |
Kekonduksian terma | (W/mK) | 300 |