Sistem Epi Barel Dipanaskan Secara Alur SiC Salutan

SiC Salutan Induktif Dipanaskan Secara Alur Epi Sistem Imej Pilihan

Penerangan ringkas:

Semicera menawarkan rangkaian komprehensif susceptor dan komponen grafit yang direka untuk pelbagai reaktor epitaksi.

Melalui perkongsian strategik dengan OEM peneraju industri, kepakaran bahan yang luas, dan keupayaan pembuatan termaju, Semicera menyampaikan reka bentuk yang disesuaikan untuk memenuhi keperluan khusus aplikasi anda. Komitmen kami terhadap kecemerlangan memastikan anda menerima penyelesaian optimum untuk keperluan reaktor epitaksi anda.

Hantar e-mel kepada kami

Butiran Produk

Tag Produk

Syarikat kami menyediakanSalutan SiCmemproses perkhidmatan pada permukaan grafit, seramik dan bahan lain dengan kaedah CVD, supaya gas khas yang mengandungi karbon dan silikon boleh bertindak balas pada suhu tinggi untuk mendapatkan molekul Sic ketulenan tinggi, yang boleh dimendapkan pada permukaan bahan bersalut untuk membentukLapisan pelindung SiCuntuk jenis tong epitaksi hy pnotic.

Ciri-ciri utama:

1. Grafit bersalut SiC ketulenan tinggi

2. Rintangan haba yang unggul & keseragaman haba

3. Baiklahbersalut kristal SiCuntuk permukaan licin

4. Ketahanan tinggi terhadap pembersihan kimia

Susceptor Tong dengan Salutan SiC dalam Semikonduktor

Spesifikasi Utama bagiSalutan CVD-SIC

Sifat SiC-CVD
Struktur Kristal	Fasa FCC β
Ketumpatan	g/cm ³	3.21
Kekerasan	Kekerasan Vickers	2500
Saiz Bijirin	μm	2~10
Ketulenan Kimia	%	99.99995
Kapasiti Haba	J·kg-1 ·K-1	640
Suhu Sublimasi	℃	2700
Kekuatan Feleksural	MPa (RT 4 mata)	415
Modulus Muda	Gpa (4pt selekoh, 1300℃)	430
Pengembangan Terma (CTE)	10-6K-1	4.5
Kekonduksian terma	(W/mK)	300