Bahan semikonduktor generasi ketiga terutamanya termasuk SiC, GaN, berlian, dsb., kerana lebar jurang jalurnya (Eg) lebih besar daripada atau sama dengan 2.3 volt elektron (eV), juga dikenali sebagai bahan semikonduktor jurang jalur lebar. Berbanding dengan bahan semikonduktor generasi pertama dan kedua, bahan semikonduktor generasi ketiga mempunyai kelebihan kekonduksian haba yang tinggi, medan elektrik pecahan tinggi, kadar penghijrahan elektron tepu yang tinggi dan tenaga ikatan yang tinggi, yang boleh memenuhi keperluan baru teknologi elektronik moden untuk tinggi. suhu, kuasa tinggi, tekanan tinggi, frekuensi tinggi dan rintangan sinaran dan keadaan keras yang lain. Ia mempunyai prospek aplikasi yang penting dalam bidang pertahanan negara, penerbangan, aeroangkasa, penerokaan minyak, penyimpanan optik, dan lain-lain, dan boleh mengurangkan kehilangan tenaga lebih daripada 50% dalam banyak industri strategik seperti komunikasi jalur lebar, tenaga suria, pembuatan kereta, pencahayaan semikonduktor, dan grid pintar, dan boleh mengurangkan volum peralatan lebih daripada 75%, yang merupakan peristiwa penting untuk pembangunan sains dan teknologi manusia.
Item 项目 | GaN-FS-CU-C50 | GaN-FS-CN-C50 | GaN-FS-C-SI-C50 |
Diameter | 50.8 ± 1 mm | ||
Ketebalan厚度 | 350 ± 25 μm | ||
Orientasi | C satah (0001) luar sudut ke arah paksi-M 0.35 ± 0.15° | ||
Pangsapuri Perdana | (1-100) 0 ± 0.5°, 16 ± 1 mm | ||
Flat Sekunder | (11-20) 0 ± 3°, 8 ± 1 mm | ||
Kekonduksian | N-jenis | N-jenis | Separa Penebat |
Kerintangan (300K) | < 0.1 Ω·cm | < 0.05 Ω·cm | > 106 Ω·cm |
TTV | ≤ 15 μm | ||
BOW | ≤ 20 μm | ||
Ga Kekasaran Permukaan Muka | < 0.2 nm (digilap); | ||
atau < 0.3 nm (rawatan digilap dan permukaan untuk epitaksi) | |||
N Kekasaran Permukaan Muka | 0.5 ~ 1.5 μm | ||
pilihan: 1~3 nm (tanah halus); < 0.2 nm (digilap) | |||
Ketumpatan Dislokasi | Daripada 1 x 105 hingga 3 x 106 cm-2 (dikira oleh CL)* | ||
Ketumpatan Kecacatan Makro | < 2 cm-2 | ||
Kawasan Boleh Digunakan | > 90% (pengecualian kecacatan tepi dan makro) | ||
Boleh disesuaikan mengikut keperluan pelanggan, struktur silikon, nilam, lembaran epitaxial GaN berasaskan SiC yang berbeza. |